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國際首 次! 富加鎵業成功制備12英寸氧化鎵單晶,引 領第 四代半導體新紀元

評論

  “十五五”規劃開局之年,富加鎵業再次迎來歷史性突破!

  3月26日,富加鎵業宣布在國際上首 次成功制備出12英寸氧化鎵(Ga?O?)單晶,這是繼2025年12月成功制備8英寸氧化鎵晶體后,再次取得的重大技術突破。這一突破不僅刷 新了全 球氧化鎵單晶尺寸的最 高紀錄,更標志著我國在第 四代半導體核心材料產業化進程中邁出了決定性一步,而富加鎵業也成為國 際上首 家掌握12英寸氧化鎵單晶生長技術的企業。

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富加鎵業12英寸氧化鎵單晶(直徑305mm)

  氧化鎵是第 四代半導體領 域代表性材料,因其卓 越的耐高壓、低損耗、抗輻照等特性,在數據中心、新能源、6G通信、可控核聚變、智能電網、軌道交通、航空航天等領 域具有廣闊的應用前景。

  國家“十五五”規劃綱要明確提出要“推動氧化鎵、金剛石等超寬禁帶半導體產業化發展”。此次富加鎵業12英寸氧化鎵單晶制備技術的突破,正是對國家戰略的有力回應,為我國發展"新質生產力"、搶占未來產業競爭制高點提供了堅實的材料基礎,為全 球半導體產業發展注入了強勁的“中國動力”。

  晶圓尺寸是衡量半導體技術先進性和成本效益的核心指標。從8英寸到12英寸,并非簡單的尺寸放大,而是一次產業層面的戰略性飛躍。12英寸晶圓意味著單片晶圓可制造的芯片數量倍增,能夠大幅攤薄生產成本,為氧化鎵器件的大規模市場應用掃清了關鍵的成本障礙;也意味著未來氧化鎵功率器件的制造可無縫導入現有成熟的12英寸硅基集成電路產線,極 大地降低了下游廠商的設備投資和產線切換成本,從而能夠以前所未有的速度推動產業化進程。

  下一步富加鎵業將與下游用戶一起開展“襯底-外延-器件-模組”全鏈條協同攻關,助力我國高 性能氧化鎵功率器件的全產業鏈貫通,加速氧化鎵高壓大功率電力電子器件產業的快速落地,早日實現“讓世界用上好材料”的愿景。

  產品介紹

  氧化鎵設備:

  公司研制了國 際上首 臺具備“一鍵長晶”功能的EFG設備,可以滿足2-6英寸晶體生長需求,目前獲得國內授權專利6項,國際授權專利4項,可提供設備及配套工藝包。公司自行研制了全自動 VB 晶體生長設備,并在國內率 先突 破了6英寸單晶生長技術瓶頸,實現了大尺寸 VB 法單晶制備。目前獲得國內授權專利6項,國際授權專利4項,可根據客戶需求提供VB設備及工藝包。

  氧化鎵單晶襯底:

  作為中國最 早投身氧化鎵單晶生長研究的先 行者與業 界領 先的供應商,我們致力于為全 球客戶提供卓 越的氧化鎵單晶襯底。我們的產品線覆蓋2-6英寸26種常規性氧化鎵襯底產品,并能夠提供尺寸,電學性能與晶向的定制化方案,滿足高質量外延片研發及批量制備需求。

  氧化鎵外延片:

  基于成熟的 MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)與 MBE(分子束外延)技術平臺,我們的產品線覆蓋 2-6 英寸等15種常規性氧化鎵外延片產品,及定制化 MBE 氧化鎵外延片產品,為客戶提供 “襯底-外延”一體化解決方案。外延層生長過程采用精準的工藝控制體系,可根據客戶需求定 制外延層厚度、摻雜濃度、組分均勻性等關鍵參數,能夠滿足不同功率等級、不同功能類型的器件研發與生產需求。

  企業簡介

  杭州富加鎵業科技有限公司

  公司成立于2019年12月31日,公司以“讓世 界用上好材料”為愿景,開展超寬禁帶半導體氧化鎵材料的產業化工作,核心產品為氧化鎵單晶襯底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法(VB法)及導模法(EFG法)晶體生長裝備等,為材料研制提供系統性解決方案,加速超寬禁帶氧化鎵產業全鏈路貫通,推進氧化鎵材料在功率器件、微波射頻器件及光電探測等領 域應用。公司在氧化鎵領 域發展方面取得的系列重要成果已獲CCTV1、CCTV2、《人民日報》、新華網、《中國證券報》、澎湃新聞等知 名媒體專題宣傳報道。企業榮譽匯總: 2022年獲得浙江省科技型中小企業;2023年獲得國家高新技術企業;2024年獲得杭州市企業高新技術研發中心及浙江省專 精特新中小企業;2025年獲得 ISO9001質量體系認證(編號:20225Q20294R0M);2024年度杭州市“新雛鷹”企業;在氧化鎵領 域,正牽頭起草氧化鎵領 域首 個國家標準,并承擔了國家發改委項目1項,國家工信部項目1項,參與了國家自然科學基金委、浙江省、上海市等國家及省 部級項目3項。另外,獲得國際專利授權14項(美國 6 項,日本7項,歐洲1項),國內專利授權42項,“富加鎵業”商標認證注冊3項,軟件著作權(“一鍵長晶”控制軟件)5項。


責編:hxq 


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